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日本ULVAC愛發(fā)科自動型光譜橢偏儀

簡要描述：

日本ULVAC愛發(fā)科自動型光譜橢偏儀
“Model：UNECS" 是一種光譜橢偏儀，可快速準(zhǔn)確地測量薄膜的折射率和厚度。它采用du 特的測量方法，實現(xiàn)了緊湊的尺寸和高速的測量。
3 種型號可用于 Φ150、200 和 300 mm 樣品。自動映射 R-θ 載物臺和自動對焦功能可以測量整個樣品表面的薄膜厚度，并通過彩圖顯示薄膜厚度分布。

更新時間：2025-06-26

訪問量：12

廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商

型號：UNECS-1500A

在線詢價聯(lián)系我們

產(chǎn)品介紹：

品牌	ULVAC/日本愛發(fā)科	產(chǎn)地類別	進口
應(yīng)用領(lǐng)域	環(huán)保,化工,電子/電池,綜合

日本ULVAC愛發(fā)科自動型光譜橢偏儀

特征

高速測量：實現(xiàn)快照測量方式，高速測量每點 20ms。

可見光譜范圍：可以選擇光譜波長范圍。標(biāo)準(zhǔn)型為 530nm 至 750nm，可見光譜型為 380nm~760nm。

緊湊型傳感器單元：傳感器單元重量輕且非常緊湊。它由一個沒有任何旋轉(zhuǎn)機構(gòu)的光學(xué)元件組成。此外，無需任何定期維護。

強大的產(chǎn)品線：擁有強大的產(chǎn)品線，包括便攜式、手動/自動載物臺型、內(nèi)置式和大型基板型等。

應(yīng)用

測量透明或半透明的薄膜厚度（D）、反射指數(shù) （N）和消光系數(shù) （K）。（氧化膜、氮化物膜、光刻膠膜、ITO 膜等）

規(guī)格

型	1500 安培	2000 安培	3000 安培
波長范圍	530 至 750 納米或 380 至 760 納米
光斑尺寸	Φ1mm 或 Φ0.3mm
入射角	70°
薄膜厚度可重復(fù)性	1σ = 0.1納米
膜厚測量范圍	1納米~2微米
測量時間	采樣時間： 20ms 至 3000ms 分析時間： 300ms
樣品臺	Φ150毫米	Φ200毫米	Φ300毫米
最大自動可測量積分	200點	200點	2,000點
控制 PC	筆記本電腦，包括分析軟件
配置	測量單位?？刂茊卧??？刂?PC（筆記本電腦型）和作手冊（CD）。