| 品牌 | ULVAC/日本愛發(fā)科 | 產地類別 | 進口 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 環(huán)保,化工,電子/電池,綜合 |
日本ULVAC愛發(fā)科小型蒸發(fā)設備
日本ULVAC愛發(fā)科小型蒸發(fā)設備
特征
桌面型和緊湊的尺寸使設置節(jié)省空間。
玻璃鐘罩很容易看到內部并且具有良好的控制力。
可以在不停止主泵的情況下打開真空室。
| 型 | VPC-061 | |
| 真空性能 | 極限壓力 | 1.3×10-3 帕 6.6×10-4Pa（帶 LN 冷阱） |
| 疏散時間 | 4.0×10-3帕/20分鐘 1.3×10-3Pa/20min（帶LN冷阱） | |
| 真空室 | 真空室 | 玻璃鐘罩 （直徑 150mm × 200mm（H）） |
| 饋通套環(huán) | 3 個端口（第 3 側） | |
| 推薦基板尺寸（最大基板尺寸） ※1 | □25mm ? □50mm（最大） | |
| 電源系統(tǒng) | 蒸發(fā)電極結構 | 1 積分 |
| 蒸發(fā)電極/電源 | SEREM PSE-150C?1 式 0~10V 150A（Max） | |
| 排氣系統(tǒng) | 主泵 | 油擴散泵（風冷） 50L/sec |
| 液氮捕集阱 | 裝備 | |
| 前級泵 | 油旋轉泵 20L/min | |
| 油霧捕集器 | 選擇 | |
| 作系統(tǒng) | 主閥 | 拍板閥 |
| 副閥 | 三通閥 | |
| 自動泄漏閥 | ー | |
| 控制 | 手動控制 | |
| 控制系統(tǒng) | 皮拉尼真空計 | 選擇 |
| 電離真空計 | 選擇 | |
| 設置 | 外形尺寸 （本體） | 434 毫米（寬）×422 毫米（深）×673 毫米（高） |
| 電源 | 480 毫米（寬）×435.3 毫米（深）×149 毫米（高） | |
| 重量 Body | 28 公斤 | |
| 電源 | 40 公斤 | |
※1：顯示最大板尺寸的值，不考慮薄膜厚度分布。
| 型 | VPC-061 | |
| 所需功率 | 身體 | 100V 單相 50/60Hz 0.63kVA |
| 電源 | 200V 單相 50/60Hz 1.5kVA | |
| 接地端子 | D 級（接地電阻 / 100Ω 以下） | |
| 連接 | 本體 1Φ 100V | Cabtyre 電纜（帶插頭） 2m |
| 電源 1Φ 200V | Cabtyre 電纜（帶 R2.0-5 環(huán)形舌片端子） 2m | |
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